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本系统主要由光源、光纤、检测支架、光谱仪、共焦探头五部分组成,共焦探头中含有系列光学组件。可稳定测量任何材质表面,同时测量并输出位移和厚度。可实现手机芯片、玻璃镜头、晶圆/半导体、太阳能电池板等各领域薄膜及胶水厚度的检测。最小可测膜厚在100um,测量精度可达0.3um。双元光谱共焦传感器具有超强的角度特性,并在全量程范围内保持分辨率和精度,可支持高速在线检测,对应曲面、凹坑、高低差能力强。
本系统主要由光源、光纤、检测支架、光谱仪、共焦探头五部分组成,共焦探头中含有系列光学组件。可稳定测量任何材质表面,同时测量并输出位移和厚度。可实现手机芯片、玻璃镜头、晶圆/半导体、太阳能电池板等各领域薄膜及胶水厚度的检测。最小可测膜厚在100um,测量精度可达0.3um。双元光谱共焦传感器具有超强的角度特性,并在全量程范围内保持分辨率和精度,可支持高速在线检测,对应曲面、凹坑、高低差能力强。
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